✔ Function：

1) Remove all powder from pumping line.
　清除真空管路內頑固的粉塵
2) Save PM Time and increase process up-time.
　縮短真空管路保養時間，進而提升製程之線上時間
3) Prevent contamination to clean room environment and human health.
　避免粉塵污染無塵室環境及危及工作人員健康

✔ Application: CVD/ PVD/ Diffusion/ Dry Etch

Vacuum Piping Cleaner 真空管路清洗系统
Product Introduction

清洗系統作業需求 Operational Requirement
►管路清洗時間：40 Min
►管路烘乾時間：30 Min
►管徑：4 ”英寸
►工藝：ETCH For LED PSS Process

Before

After

產品規格 Specification

產品優勢 Advantage