AMAT PVD & CVD System

AMAT PVD & CVD System

 

AMAT Endura 5500 PVD

AMAT PVD & CVD System-1_yp111.jpg
CHAMBER SOLUTION
☐ ※ Aluminum Chamber
☐ ※ Ti/TiN Chamber
☐ ※ PCII/RPC Chamber
☐ ※ IMP/Encore Chamber
☐ ※ TxZ Chamber (STD, HP & HP+)
AMAT Centura 5200 CVD

AMAT PVD & CVD System-2_yp111.jpg
CHAMBER SOLUTION
☐ ※ HDP Chamber
☐ ※ WxZ Chamber
☐ ※ DxZ Chamber
☐ ※ PE CVD (TEOS & SION)
☐ ※ CxZ Chamber

 

AMAT PVD & CVD System-3_yp111.jpg

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