Hot N2 System 熱氮氣應用
Hot N2 System Application

取得台灣及中國氣體加熱及加速粉塵沉積结晶專利

台灣專利編號: M565874

中國專利编號: ZL-2018-2-0836958.8

預防粉塵堵塞最佳方案

► Heating Jacket ＋ Hot N2 System

使用後效能差異

CVD Process
►PM Cycle Extension - 3Month → 6Months
Dry ETCH Process
►PM Cycle Extension - 6Month → 9Months

使用前

使用後